主要技术指标 |
分辨率原子力显微镜(AFM):横向 0.26nm, 垂直 0.1nm(以云母晶体标定) 扫描隧道显微镜(STM):横向 0.13nm, 垂直 0.01nm(以石墨晶体标定) 电流检测灵敏度:≤10pA 力检测灵敏度:≤5pN 图像分辨率:128X128,256X256,512X512,1024X1024,2048X2048 扫描角度:0~360° 扫描频率:0.1~100Hz 预置隧道电流:0.001~10nA 偏置电压:-10~+10V 温度检测精度:0.1℃,湿度检测精度:0.5%RH
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